可提供额外灵活性的气体容器升级产品

牛津仪器的气体容器(Gas Pod)能够容纳额外的气体管路,用户使用非常灵活。可根据用户需求变化增设附加管路。

主要特点

  • 可容纳有毒气体和无毒气体
  • 可用于牛津仪器所有的 PlasmaPro系统(Ionfab工具升级产品的适用性需单独审核)
  • 可容纳多达12路气体管路(这取决于气体容器的配置)

气体容器升级产品的益处

  • 安装快捷、容易
  • 可安装新款的质量流量控制器(MFC)。
  • 灵活性增大,增加了可用于各工艺室的不同工艺的种类
  • 行业标准质量流量控制器的装配意味着可安装由不同厂家提供的质量流量控制器。

相关服务支持

灵活的服务协议

灵活的服务协议

定制服务合同:选择适合您的选项。

预防性维护上门服务

预防性维护上门服务

为了使您的系统保持达到高标准,必须执行年度维护。

预购服务基金

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我们的预购服务基金可为您增加10%的购买力。

系统用户维护培训

系统用户维护培训

设计用于提高系统维护技术,确保您有效地使用您的牛津仪器系统。

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