测量特定波长的光量可对特定物质的量进行相对测量。这种类型的测量主要用来测定工艺室表面与工艺室清洗期间的沉积物质之间边界处的终点。

用于沉积工具的光学终点检测器

  • 可进行实时工艺室清洗终点检测
  • 提高工具可用性
  • 降低所有权成本(当清洗过程完成时,可精确确定)
  • 降低因清洗过度造成工艺室侵蚀的可能性,有助于延长工艺室使用寿命
  • 可防止清洗过度减少颗粒生成,从而提高工艺出品率
  Ocean Optics CCD1 Verity SD 1024G
Detector Range 200-850nm 200-800nm
Pixels 3648 pixels 1024 x 128 pixels
Signal-to-noise ratio 300:1 (at full signal) 2000:1 (at full signal)
A/D Resolution 16 bit 16 bit
Dark noise 50 RMS counts 2 RMS counts
Resolution 10nm 2nm

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