引入CCD1光谱仪系统可提高我们各种等离子蚀刻和沉积工具的终点测量能力。

CCD1既具备工艺终点测量能力又具备紫外/可见光光谱捕捉能力,可作为所有新工具的标准选件提供,或作为现有牛津仪器客户的升级选件提供。

优势

  • 该光谱仪提供了一条用于通用终点测量和光谱分析的高性价比途径,而不会有损分辨率或信号强度。
  • CCD1为紫外/可见光CCD光谱仪,可监测波长范围200-880nm的各种等离子发射。
  • 该装置可通过以下两种方式中的一种使用:通过OIPT的PC2000™软件进行工艺终点检测或全光谱查看和记录。
  • 这可向用户提供详细的等离子光谱分析信息,该信息可用于检测等离子中的物质浓度。还可将该光谱与先前的光谱数据进行比较——以便进行系统监测、故障检测和潜在故障分类。
  • 现在除了可作为新型牛津仪器蚀刻与沉积工具上的系统选件提供外,CCD1光谱仪还可作为在用系统的升级件提供,这取决于系统的服役年限、型号和配置。


 

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