大样品扫描探针显微镜源自著名的变温SPM,为采用SPM研究较大尺寸的样品(最大直径4’’的晶圆或自制样品)提供一个理想的平台。它主要特点如下:

  • 样品最大直径4’’
  • 可通过法兰对接在已有的真空腔体上
  • Sub system option
  • Fab line compatible
  • pA量级的隧道电流
  • 增强的dI/dV隧穿谱
  • 激光反射式AFM
  • QPlus式AFM

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