强大的集成四个独立扫描探针显微镜的纳米探测系统

纳米技术领域的一个重大挑战是如何将单个纳米器件植入大型集成电路中。器件工艺研究需要纳米尺度大小器件的电子特性表征,相应的也需要能够将感兴趣范围从毫米尺度缩小至纳米尺度的导航设备。

UHV NANOPEOBE是一个精密的分析仪器,不会破坏被分析样品,用于纳米尺度的四点接触式电测量和用于复杂集成电路的纳米器件的功能测试。 Omicron NanoScience成熟的SPM技术是能够进行纳米尺度的探测技术的关键因素,它提供精准的探针导航和安全的针尖粗定位,从而保护了尖端直径仅有十几个纳米的探针。

 

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