特点和益处

  • 包括从8代创新获得的先进技术。
  • 可完成各种各样的应用,从纳米线操作到透射电子显微镜(TEM)样品制备再到电气与机械测量。
  • 可朝任何方向(全方位)进行对角运动。
  • 以任何样品倾斜度进行正交坐标系运动。
  • 迅速将样品定位于特定角度。
  • 可在较长距离内进行平稳、准确的操作。
  • 始终清楚探针针尖的位置,甚至脱离视野时也清楚。
  • 为方便所有接口安装,可有预见性地移动。
  • 通过轻易调用贮存位置,可减少操作员疲劳并提高成功率。
  • 避免碰撞。
  • 通过气动插入/收回链路接入显微镜软件(取决于原始设备制造商)
  • 内置可给探针施加高达±10V偏差的能力,以便进行电压对比或其他应用。

可选配同心旋转

使用0.1°分辨率的同心校正旋转,可在旋转期间以相当于水平视野60um的放大倍率对样品成像。

  • 可安全地完成样品旋转,不存在碰撞风险,无需持续注意在每次旋转后对样品或探针针尖进行重新定位。
  • 在聚焦离子束显微镜(FIB)内,旋转可迅速、轻易地让针尖变得锋利,从而改善电气特性或与大约20纳米的样品特性相符。

自动化系统

  • 计算机和平板显示器
  • 安装在支架上的2U以太网控制器
  • 采用100纳米线性编码器反馈的3轴阶段
  • 运动控制软件界面
  • 用户手册和安装指南