扫描电镜(SEM)或聚焦离子束(FIB)的完美配置——能谱仪(EDS)、电子背散射衍射(EBSD)探测器

  • EDS表征特征元素及/或成分含量
    • WDS也可表征元素及成分,其准确性及精度更高
  • EBSD可用于SEM及FIB中,检测显微结构取向特征
  • 同时提供专业应用模块,如枪击残留物分析,矿物解离度分析意义多层膜厚度及成分测量