WDS Detector - WAVE

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 INCA WAVE WDS是使用于有如EPMA完全相同的全聚焦几何条件的SEM上唯一的谱仪。意味着分辨率提高2倍、更稳定、更高效的测量。

 

 

WAVE是全聚焦谱仪,以其精度及准确著称于世。谱仪内部组件(晶体、探测器及测角仪)功能完全协调优化,具有超高精度,准确衍射条件保证测量精度的高重复性。

 

WDS探测器WAVE的特点

  • 样品的垂直定位精度并不十分关键,因为谱仪安装于倾斜的罗兰圆上。易于所有操作人员获得最佳重复性的结果。同时也不需要像平行光谱仪所需要的光学显微镜的精准样品定位的繁琐。
  • 能量分辨率低至2eV,有效分辨各种重叠峰
  • 极低的检测限,某些元素最低可测低于100ppm的含量
  • 标配能量范围高至10.8eV(15keV为选配)
  • 依据XPP算法的准确定量分析
  • 长达25年的发展造就可靠且强大的机械设计
  • 多种电镜皆适用,商业的,可变真空的,环境的,场发射的等等多种
  • 多种样品皆可获得准确结果,包括轻元素,低束流下(<5nA)获得高空间分辨率等

WDS Brochure and application note

样本

 

WDS System brochure

 

Download the WDS System brochure

 

 

 

 

 

Application Notes

WDS Explained application note

Explains how a WDS system works

 

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