无损

  • 通过对样品表面能谱测量结果的计算获得多层结构的成分及厚度而无需制备截面。

高空间分辨率

  • LayerProbe是唯一的高分辨及无损的方法,可精确对低至200nm宽度的特征进行分析。

精确

  • 可以快速及精确测量低至纳米尺度的薄膜厚度。在设置过程中软件会推荐可获得最精确结果的优化SEM条件。

成本控制

  • LayerProbe可使你的SEM变为高性能薄膜及镀层分析仪。否则需要投入可观的资金才能获得类似无损技术。

适合金属薄膜

  • 利用此基于X-ray的技术,可测量的金属薄膜厚度远高于光学透明性。
  • 最新一代SDD探测器, X-MaxN, 其优异的低能灵敏性使得测量金属表面低至1nm厚度的氧化膜成为可能。