LayerProbe在很多领域均有应用,包括前端及后端芯片生产,半导体研发,光学级工业镀层,纳米电子器件…

Measuring layer thicknesses of a semiconductor in the SEM半导体研发

  • 测量金属层及介电层厚度及成分
  • 精确表征焊盘表面氧化物形成(如铜表面的氧化铜)
  • 优化薄膜沉积过程(CVD,ALD,溅射、蒸发)
太阳能电池
  • 表征太阳能薄膜电池的活性层(CIGS, CdTe)
  • 优化TCO层厚度及均匀性
  • 抗反射涂层厚度及成分
光学镀层
  • 通过精确控制薄膜厚度及成分以优化光学镀层厚度及透明性
  • 通过成分测量揭示传统厚度测量无法发现的不均匀性

工业镀层

  • 适合装饰及结构镀层
  • 以最少样品制备揭示及精确表征亚表面缺陷
纳米科学
  • 测量纳米颗粒镀层不均匀性
  • 表征纳米器件触电
  • 使用无损薄膜测量将器件性能与结构相联系