与现有方法的比较

基于成熟技术的LayerProbe,相比其它技术具有明显优势:

 LayerProbe与其他技术的比较:
  LayerProbe Ellipsometry XRF FIB/TEM RBS
无损 是 
高空间分辨率


(>> 1 微米)


(> 1 微米)
快速分析
(每点只需要几秒钟)
否 (需要几小时)
成本 相对便宜 昂贵 昂贵 昂贵

非常昂贵
 

LayerProbe准确性如何?

ALD layers在硅基的比较:

  LayerProbe
厚度 (nm)
密度
(gcm-3)
Ellipsometry
厚度 (nm)
折射率
HfO2 28.1 ± 0.1 9.4 33.6 ± 5 2.04
Al2O3 57.0 ± 0.2 3.0 52.8 ± 5 1.64

LayerProbe能谱及RBS成分测量

  LayerProbe –
化学计量比
RBS –
化学计量比
Hf /O 2.13 2.07
Al /O 1.56 1.60

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举例:PCB应用-Au/Ni/Si衬底

LayerProbe及XRF厚度测量

  LayerProbe
厚度 (nm)
密度 (gcm-3) XRF
厚度 (nm)
Au 60.1 ± 0.7 19.3 61 ± 25
Ni 123.5 ± 0.7 8.9 141 ± 24

SEM截面测量确认结果…
Example of thin film analysis