实现颗粒物分析所用SDD系列探测器

牛津仪器推出的X-MaxN系列SDD探测器依据晶体活区面积从20mm— 实现基本的显微分析到150mm— 轻松展现纳米尺度细节等。最新一代SDD探测器无论速度及准确性均远远高于同类产品。

  • SDD探测器活区晶体面积尺寸不等,多种可选
  • 从150mm2到20mm2
  • 探测器伸入SEM中外管尺寸相同,即深入样品的位置相同,意味着计数率增加仅与晶体面积有关

所有X-MaxN系列探测器均提供:

  • 最佳的轻元素检测性能-所有探测器皆可清晰分辨Be元素
  • 保证分辨率同样优异
  • 探测器几何形状相同,可轻松升级

晶体面积越大意味着:

  • 更低束流下,也可获得足够EDS分析的计数率
  • 对亚微米级纳米级颗粒做出更加清晰及准确的分析
  • 相同束流下,获得更高计数率
  • 缩短采集时间,获得统计性更好的结果
  • 允许更低束流下分析,实现更高空间分辨率的检测

    如果通常检测样品的微观尺度为微米级,更推荐使用晶体面积为10mm2的X-act型能谱仪,性价比更高。

多探测器系统

多增加一个探测器会明显提高计数率,当需要进行自动颗粒分析时,计数率的提高意味着检测时间的大大缩短以及准确性的提升。

对于难测样品,如颗粒尺寸极小、束流敏感的样品如高聚物薄膜等均推荐选择多探测器系统。原因很简单,多探测器系统可以大大提高采集计数率,有效甄别难测颗粒并缩短驻留时间,降低电荷堆积影响。对于某些有一定高度的颗粒,单只探测器总无法避免阴影区,难以获得整个颗粒信息,而多探测器(至少相对安装两支探测器)即可轻松实现全方位检测,毫无阴影效应。

  • 一台扫描电镜最多可以配备四支X-MaxN探测器,晶体面积最高可达到600mm2
  • 多探测器可以实现:
  • 固体角最大化,即使低加速电压下仍然可以获得纳米级颗粒的X-ray信息
  • 颗粒于束流敏感型基体(如环氧树脂、高聚物薄膜等)上仍然可准确检测
  • 具有一定高度或尺度更小的颗粒检测不再是问题(如本页中图片所示)

多探测器不仅有效地提高了颗粒物检测速度,并且很大程度地降低了阴影效应。