SEM专用颗粒物分析系统 — AZtecFeature

最新推出的AZtecFeature是一款速度更快、使用更方便的颗粒物分析系统。结合大面积能谱的高速及高灵敏性优势,整合于高性能强易用的AZtecEDS 分析平台中,当之无愧成为目前市场上最先进的颗粒物分析检测系统。

使用AZtecFeature经典导航模式,即使初学者也可以快速方便的获得整个样品中几千甚至几万颗粒的信息。且支持一键自动输出每个颗粒的坐标、形貌以及化学成分等信息。

目前牛津仪器可以支持一台SEM同时配备4个最大面积150mm2的X-MaxN能谱仪,获得晶体活区面积总计高达600mm2;且同时使用基于XPP算法及硬件修正方法的Tru-Q引擎,使得颗粒物分析系统的速度及准确性大大提高。

亮点:

  • SEM中颗粒物自动分析系统 — 启动简单,几秒内出结果
  • 可分析样品中超过200,000的纳米尺度颗粒
  • 自带阈值,自带分类方法,自带安装导航
  • 多探测器可有效提高颗粒物检测速度,且减少阴影效应
  • 高准确性的成分分析

快速、强大

  • 新一代X-MaxN SDD探测器进一步拓展了电制冷能谱仪的潜力——低计数率下实现高空间分辨率;高计数率下实现快速分析的性能
  • 根据不同检测需求选择多种探测器型号
  • 同一台SEM最多可以同时配备4台能谱仪,即使对起伏样品或激发产额极低的样品也可以轻松检测
  • 64位系统,实现真正的多任务同时工作
  • 可以分析一个样品中超过200,000的颗粒
  • 同时检测,观察样品形貌、成分及分类信息
  • 实时或后处理所有颗粒物份分类方法
  • 检测的同时,可以随时输出报告

准确

  • AZtecFeature包含独有的硬件参数修正的Tru-Q引擎,无需用户过多设置,即可自动获得准确的定量结果
  • 独一无二的和峰校正功能保证即使在极高的计数率下也可以获得准确定量结果

易用

  • 无需费力设置各种参数,即使对于未知样品,也可以几秒钟内获得准确定量结果
  • 自动获得形貌及化学成分,并且同时将所有颗粒物分门别类
  • 所有参数以文件形式保存,方便多次调用,也方便不同设备拷贝调用

颗粒物分析——更加简单

       几秒内即可识别出颗粒                       增加成分信息...并快速、准确对整个样品自动分析

AZtecFeature——将自动化及灵活性推向极致

几秒钟即可获得结果

         自动颗粒物分析就是如此简单!立刻获得颗粒物信息:点击一个颗粒,其他所有相似灰度的颗粒立即高亮显示,并且显示所有高亮颗粒的形貌信息。

  • 实时获得形貌信息
  • 颗粒尺寸、形状、长宽比等同时显示
  • 可以手动微调灰度阈值、或图像过滤等参数方便去除噪音或颗粒分割等

成分信息添加如此简单……

        由于AZtecFeature是完整的一体化设计,添加成分信息的方法已经简化至极致……

  • 自动采集每个颗粒物的EDS谱图
  • 使用现有设置作为谱图处理方法
  • Tru-Q引擎保证定量结果准确性
  • 一键点击,立刻生成相应分类方法

区域设置更加简单

        单一视场到多个视场甚至多个样品的采集区域设置更加简单:

  • 根据导航提示,步步生成多个视场或多个样品的采集区域
  • 区域设置可以保存,支持多次使用
  • 每个样品,皆可以自动采集几千个视场获得超过200,000颗粒的信息
  • 系统控制样品台自动移动逐一检测所有颗粒的形貌、成分信息,并拼接为一大视场图形。并也可以随时切换查看其中单一视场的信息
  • 采集过程中,可以随时切换"大视场”并放大查看任一细节
  • 重新定位任一视场做进一步分析
  • 灯丝断后,系统自动暂停,保证所有采集结果的有效性

报告输出

       以列表形式自动获得颗粒物包括形貌信息、成分信息以及分类信息等

  • 采集过程中,也可自动输出报告表格
  • 各种直观的图表以Word形式一键输出
  • 散点图、详细的数据信息也可以以Excel表格一键输出

 

颗粒分析应用举例

包括形貌及化学成分,输出信息更全面

不同于光学技术,AZtecFeature不仅可以提供尺寸、形状等形貌信息,更可以提供包括元素成分,甚至多种信息相结合的综合信息。

颗粒分析系统可以应用于不同领域中,且由于行业不同,所需数据信息多有差异,针对不同行业,该软件提供量身定制的各种行业所需的数据库及报告模板,方便批量测量,且一键输出报告。

AzecFeature 应用:

  • 清洁度测试——专为电子器件、半导体、汽车工业等污染物检测而设计
  • 发动机磨损测试——评估液压传感器中清洁度级别,监控发动机寿命长短
  • 钢铁夹杂物测试——检测金属及钢铁中非金属夹杂物的专业手段
  • 鉴证分析——刑侦领域中对案发现场微量残留物的检测
  • 矿物地质测试——分析矿物样品相组分及取向特征,分析运动规律
  • 空气洁净度监测(PM2.5)——检测空气质量,污染物级别
  • 石棉纤维测试——检测样品中纤维形貌并根据成分确认石棉类型

稀相颗粒检测

AZtecFeature是理想的在大块样品中寻找微米级且微量的颗粒或某种感兴趣颗粒的有效方法,是解决“大海捞针”的最佳选择。

通过电子图像确定颗粒形貌及尺寸等,并同时根据EDS确认其化学成分。刑侦行业中通常使用此技术自动检测如枪击残留物或爆炸残留物等多种关键颗粒的存在及数量。大大降低人力逐一视场搜寻的时间及精力。

大数据——处理大视野样品的数据

AztecFeature可实现自动大面积电子图像及能谱采集的功能,包括纳米级颗粒的分析及统计。AztecFeature可以自动分析样品中几万或几十万的颗粒信息。通过结合形貌及能谱信息,AZtecFeature是一款非常有效的大块样品中颗粒物分析统计系统。

  • 大块样品中寻找某微小的相或颗粒
  • 做形貌及成分分析并分类别属
  • 统计各种相的晶粒尺寸及形状等特征
  • 依据之前Mapping数据,做重构,二次提取颗粒信息

不同应用领域模块

根据行业对检测颗粒结果做规范化数据处理

矿物解离度检测*

当前市场上最先进且性价比最高的自动矿物分析系统

  • 自动分析镶嵌样品或抛光后的矿石断面
  • 自动计算矿物解离度、大块样品矿物相组成及各种相的赋存关系
  • 一键输出相成分等多种数据结果
  • 对不同矿物类型可以选择不同设置文件,是开放式矿物分析平台的最佳选择

           * 此功能目前整合于INCAMineral平台中,随后将发布AZtecFeature的此项功能,敬请期待。

枪击残留物分析(GSR)*

GSR系统是专门用于犯罪现场枪击或爆炸物残留物分析的平台,并严格按照标准ASTM1588-10e1要求对所测颗粒物做分类、数据处理并输出报告。

  • 分类方法适用于所有制式枪弹药
  • 可靠的枪击残留物检测系统
  • 提供标准样品,随时监测系统稳定性,严格保证检测准确性及重现性

   * 此功能目前整合于INCAGSR平台中,随后将发布AZtecFeature的此项功能,敬请期待。

金属纯净度检测

  • 可用于包括钢铁、钢帘线及粉末冶金等行业
  • 依据国际、不同国家及行业标准,自动输出钢铁样品中夹杂物报告
  • 对各种复杂夹杂物或条带状夹杂物等做区分并归类统计
  • 报告类型包括颗粒物类型、三元相图、散点图等

           下载应用举例:AZtecSteel 技术说明

更多功能:

AZtecFeature与功能强大AZtec平台一体化后,可以直接切换不同功能界面,实现更全面信息采集。

比如:在自动检测中或检测后,若对某颗粒甚感兴趣,可在此时重新定位该颗粒并以EDS或EBSD做进一步分析。AZtec独有的TruMap可以更加准确地获得元素真实面分布(扣除背底并剥离重叠峰),并结合EDS及EBSD利用TruPhase准确判断颗粒所属相类型。

一体化扩展功能:

  • 使用AZtecFeature对整个样品做某种颗粒的自动搜索
  • 使用其他功能对某颗粒做二次分析
  • 与颗粒物分析相结合:
  • 元素面分布
  • TruMap-扣除背底并重叠峰剥离后的真实面分布
  • 薄膜测厚(Layerprobe)
  • EBSD 分析
  • TruPhase-结合EDS及EBSD对不确定相做确认分析

强大的硬件保证 — SDD探测器

实现颗粒物分析所用SDD系列探测器

牛津仪器推出的X-MaxN系列SDD探测器依据晶体活区面积从20mm— 实现基本的显微分析到150mm— 轻松展现纳米尺度细节等。最新一代SDD探测器无论速度及准确性均远远高于同类产品。

  • SDD探测器活区晶体面积尺寸不等,多种可选
  • 从150mm2到20mm2
  • 探测器伸入SEM中外管尺寸相同,即深入样品的位置相同,意味着计数率增加仅与晶体面积有关

所有X-MaxN系列探测器均提供:

  • 最佳的轻元素检测性能-所有探测器皆可清晰分辨Be元素
  • 保证分辨率同样优异
  • 探测器几何形状相同,可轻松升级

晶体面积越大意味着:

  • 更低束流下,也可获得足够EDS分析的计数率
  • 对亚微米级纳米级颗粒做出更加清晰及准确的分析
  • 相同束流下,获得更高计数率
  • 缩短采集时间,获得统计性更好的结果
  • 允许更低束流下分析,实现更高空间分辨率的检测

    如果通常检测样品的微观尺度为微米级,更推荐使用晶体面积为10mm2的X-act型能谱仪,性价比更高。

多探测器系统

多增加一个探测器会明显提高计数率,当需要进行自动颗粒分析时,计数率的提高意味着检测时间的大大缩短以及准确性的提升。

对于难测样品,如颗粒尺寸极小、束流敏感的样品如高聚物薄膜等均推荐选择多探测器系统。原因很简单,多探测器系统可以大大提高采集计数率,有效甄别难测颗粒并缩短驻留时间,降低电荷堆积影响。对于某些有一定高度的颗粒,单只探测器总无法避免阴影区,难以获得整个颗粒信息,而多探测器(至少相对安装两支探测器)即可轻松实现全方位检测,毫无阴影效应。

  • 一台扫描电镜最多可以配备四支X-MaxN探测器,晶体面积最高可达到600mm2
  • 多探测器可以实现:
  • 固体角最大化,即使低加速电压下仍然可以获得纳米级颗粒的X-ray信息
  • 颗粒于束流敏感型基体(如环氧树脂、高聚物薄膜等)上仍然可准确检测
  • 具有一定高度或尺度更小的颗粒检测不再是问题(如本页中图片所示)

多探测器不仅有效地提高了颗粒物检测速度,并且很大程度地降低了阴影效应。

相关产品

SEM AZtecEnergy的EDS 软件

SEM AZtecEnergy的EDS 软件

AZtecEnergy彻底改变您采集、处理能谱数据的方式。无论初学者还是专业人士,都将在更高的分辨率下以更快的速度获得更加准确的结果。

大面积SDD能谱仪- X-MaxN

	 

大面积SDD能谱仪- X-MaxN  

X-MaxN 的晶体尺寸从适合于微米分析的20 mm2到纳米材料分析专用150 mm2的共四种可选。尤其是150 mm2为当今晶体面积最大的探测器,分析速度至少是普通探测器的两倍。

10mm2的SDD能谱仪——X-act

10mm2的SDD能谱仪——X-act

The x-act 10 mm2 SDD detector is an ideal solution for routine EDS applications.

枪击残留物分析(GSR)

枪击残留物分析(GSR)

Gunshot Residue Analysis (GSR)in the SEM provides fast, accurate and reproducible results to international standards such as ASTM E1588 - 10e1. AZtec GSR is a new package that makes Gunshot Residue Analysis faster than ever.

产品服务支持

纳米分析服务与支持

纳米分析服务与支持

我们对我们的客户和产品提供全程的专业技术支持和维护。经验丰富的产品支持工程师能够提供高水平的设备维护,同时资深的应用技术专家能够对您在应用过程中遇到的各种问题提供全面的支持。