TEM专用的X-MaxN系列硅漂移探头采用了全新的感应晶片、电子元件以及创新的机械设计,真正达到了“下一代”硅漂移探头高性能的表现。

透射X-MaxN系列探头采用了最新的低噪音探头,即使在极高的计数率下也可以保证很好的分辨率及X射线的探测敏感性。

综述

X-MaxN 80T是专为常规TEM分析而设计的,其晶体有效探测面积高达80 mm2,具有较高的立体角和很好的性能表现:

  • 具有优越的能量分辨率,在计数率为50,000 cps时Mn元素的K峰分辨率为125 eV;
  • 设计时考虑了低能X特征谱的探测敏感性以及输出信号的最大化;
  • 优化的检出角保证了最佳的峰背比以及对轻元素的探测敏感性;
  • 从接收到特征X荧光谱到获得元素分布图的时间极大缩短;
  • AZtecTEM TruMap提供实时的扣背底以及谱峰剥离功能;
  • 在包括场发射电镜以及球差矫正电镜等在内的所有种类透射电镜中都有高性能的表现。

Brochure and TEM Explained

AZtecTEM solutions brochure

A 16 page brochure showing why AZtecTEM is the most powerful solution for EDS on the TEM. It comprises software and hardware sections (inc X-Max 100TLE and X-Max TSR).

PDF 4.63MB
Semiconductor analysis in the TEM
Development and testing of semiconductor devices requires extensive knowledge of local structure and elemental composition. With feature sizes of <5 nm, it is often necessary to perform imaging and EDS analysis in a S/TEM.
 
Once in the TEM, there are still many difficulties to be overcome to acquire accurate elemental maps. Elemental analysis of semiconductors is typically difficult due to strong overlaps of X-ray lines between commonly used elements and low concentrations of dopants. Not only are concentrations of dopants small but their X-ray lines often overlap with other materials used in semiconductor processing. This brief shows how AZtecTEM solves these overlaps to achieve an accurate elemental analysis.
PDF 3.27MB
EDS for TEM Explained
This 12 page document gives an introduction to EDS applications in the Transmission Electron Microscope (TEM). It covers the theory of the SDD operation and X-ray analysis.
 
This document is available in bulk free of charge to universities and other institutions giving a course on the subject.
PDF 4.04MB

X-MaxN 80T的特点

使用大面积的感应器意味着:

Low energy spectra easily identified

  • 在低电子束流下可以接收到更高的计数率;
  • 最大化面分布图的分辨率和准确性;
  • 在采集电子图像的条件下可以直接进行元素分析;
  • 在束流相同的条件下较以往获得更高的计数率;
  • 可以大幅缩短采集时间;
  • 更优越的统计意义上的准确性;
  • 可以在更小的电子束斑下进行分析;
  • 最大化空间分辨率;
  • 在您的高分辨TEM上获得最佳的结果。

 

探头的尺寸和灵敏度很重要

在相同的操作条件下,更大的探头尺寸意味着:

  • 采集时间大大所点,可以在数秒内完成以往需要几分钟甚至十几分钟才能完成的工作——这使得采集一张元素面分布图可以成为日常工作;
  • 在采集时间相同的前提下,可以显著地提高准确性

大尺寸探头——高效地进行显微分析

 

低能X射线的探测灵敏度至关重要

X-MaxN 80T优化了在低能X射线端的表现,并不因为探头尺寸的增加而损失任何稳定性和精确性

  • 我们保证所有的X-MaxN 80T探头都可以探测Be的K线系。Si的L线系可以被探测

超大的探头—所有人都可以进行轻元素分析

 

探头的尺寸和空间分辨率是关键

在高空间分布率的条件下,X射线的产额减小。

  • 大尺寸探头可以收集到高质量的低能X射线
  • 可以更好地标征纳米尺寸的结构

超大尺寸的能谱探头——先进的纳米分析不再是梦!

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