TEM中的定量分析:实时分析及报告生成

点分析

点分析通常是样品分析的第一步。利用AZtec,这一步快速、精确及可重复-只需简单的选择区域进行分析,在很短时间内便可采集到结果。

  • 所有元素可自动标识
  • 在独特的迷你窗口中显示成分
  • 可迅速在感兴趣点为他人进行注释以及迅速将迷你报告单键发给他人

自动元素标识

精确及可靠。自动元素标识可在谱图采集的同时实时标识谱峰。

  • 无需事先知道所存在的元素
  • 如需要,可去除分析不需要的元素
  • 使用Tru-Q技术可在任何计数率下正确标识

自动锁定

自动将视场锁定于相同区域。尤其在STEM下采集高分辨图像及面分布时有用。

  • 可以在由于漂移导致传统方法无法分析的分辨率条件下进行分析
  • 可实时更新漂移校正的程度
  • 根据不同种类漂移,提供独特的预测及主动漂移校正相结合的方法

TEM中的定量分析:提供实时精确的定量分析

Tru-Q®

作为牛津仪器独有的技术,Tru-Q可以提供准确的自动元素标识及定量分析。它使用了如下技术的整合:

  • 为真实无标样分析进行的完整探测器及硬件表征
  • 在任何情况下使用鲁棒的滤波最小二乘法拟合。例如,无需对背景拟合进行调整
  • 改进版比值法- 在TEM定量分析中考虑样品厚度和密度
  • 可使用理论或用户自定义K因子
  • 可选择K, L或M线系进行定量分析
  • 和峰修正- 高计数率计数率下自动脉冲堆积校准,使得在200,000cps计数率条件下定量分析变为现实
  • 剥离不需要的非样品峰(例如来自铜网的Cu元素)

任何人均可获得可信赖的结果