在任何EDS系统中,谱图面分布都应该是核心工具—在AZtec中便是

 

智能面分布

智能面分布将自动定量分析转变为二维结果以确定元素及其可视化分布
  • 传统的窗口积分面分布方法
  • 自动生成面分布
  • 可人为定义元素
  • 面分布分辨率达4K*4K
  • 每个像素的信息均自动保存以备后处理

自动图层叠加

单键点击,AutoLayer将包含一系列复杂信息的X-ray面分布图自动转化为单个图像,该图像可帮助观察样品中相及元素的分布
  • 即时及自动解释样品
  • 自动选择颜色以突出单个图像中的重点
  • 揭示样品的复杂性

EELS一体化

超快的EELS一体化可实现精确的同步数据采集。AZtec可在每秒超过1000个谱图的速度下下工作。
  • 与Digital Micrograph™无缝对接
  • 可达到最快的数据采集
  • 在一体化与单独模式之间切换
  • 最高的EDS接收效率

TruMap

TruMap是可实时进行背底扣除及重叠峰剥离的独特面分布功能
  • 自动去除错误信息
  • 纠正谱峰重叠如:
  • Si K线系与W M线系- 对于半导体行业极为重要
  • 矿物分析中的Pb M, Mo L 及S K线系
  • 可适用于离线数据

QuantMap

QuantMap通过对SmartMap结果进行背底扣除,重叠峰剥离,基体效应修正及和峰修正以显示真实的定量信息。QuantMap可在线计算及显示-而无需利用SmartMap数据离线处理
  • 以原子百分比,质量百分比,氧化物百分比等形式显示
  • 将数据输出至电子表格

AutoPhaseMap

AutoPhaseMap使用统计方法建立样品相的面分布以优化相的分组而不是元素聚集或主要成分。该方法提供了自动鉴定的相的定性及定量分析结果
各相分布
  • 各相分布
  • 每个相的谱图、成分及面积比例
  • 寻找各种尺寸的相,包括纳米材料
  • 寻找痕量元素