AZtecTEM是专为高级TEM用户设计并优化的能谱软件。

AZtecTEM凝聚了牛津仪器在透射电镜能谱技术上30多年的探索与研究,是专为解决纳米材料表征而设计的独一无二的系统,从各方面达到了你对下一代透射能谱仪的期望。

技术更为先进。

囊括了革新设计的探头以及能谱技术,AZtecTEM系统将改变你对透射能谱技术的认知:更快地得到更精准的结果;实时显示所有信息;出乎意料的快速生成包含所有细节的报告。

AZtecTEM一览:
  • 进阶的EDS软件包括了改进的点扫描,线扫描以及相、元素面分布图等;
  • 搭配最新发布的X-MaxN探头进一步推进了新一代硅漂移探头的研发;
  • 全自动的样品漂移矫正以及实时的谱峰剥离、脉冲堆积矫正保证了实时结果的准确性;
  • 多线程的软件设计使得AZtecTEM可以同时进行信号探测、结果分析以及生成报告;
  • 引导模式适用于进行常规作业的用户,而定制模式则面向更为熟悉系统以及能谱技术的高级用户;
  • 有全球各地的专家为您提供专业的指导以及支持。

Brochures and application notes

AZtecTEM solutions brochure

A 16 page brochure showing why AZtecTEM is the most powerful solution for EDS on the TEM. It comprises software and hardware sections (inc X-Max 100TLE and X-Max TSR).

PDF 4.63MB
Semiconductor analysis in the TEM
Development and testing of semiconductor devices requires extensive knowledge of local structure and elemental composition. With feature sizes of <5 nm, it is often necessary to perform imaging and EDS analysis in a S/TEM.
 
Once in the TEM, there are still many difficulties to be overcome to acquire accurate elemental maps. Elemental analysis of semiconductors is typically difficult due to strong overlaps of X-ray lines between commonly used elements and low concentrations of dopants. Not only are concentrations of dopants small but their X-ray lines often overlap with other materials used in semiconductor processing. This brief shows how AZtecTEM solves these overlaps to achieve an accurate elemental analysis.
PDF 3.27MB
EDS for TEM Explained
This 12 page document gives an introduction to EDS applications in the Transmission Electron Microscope (TEM). It covers the theory of the SDD operation and X-ray analysis.
 
This document is available in bulk free of charge to universities and other institutions giving a course on the subject.
PDF 4.04MB

AZtecTEM 综述

强大

  • 充分释放最新一代SDD探测器X-MaxN的潜力- 低计数率时的高灵敏性及高计数率时的强运算能力
  • 可选择各类探头,包括具备特殊设计以优化立体角的100 mm2 活区面积的探测器
    • 多探测系统使立体角高于2(基于TEM及配置)
    • 无窗技术大幅度提高低能端性能
  • AZtec具备64位性能及真正的多任务处理能力,因此可在探头最大速度下工作,实时可视结果,采集同时生成报告……这将比以前更快获得结果。

灵活

  • AZtecTEM提供了根据用户习惯采集、处理及导出数据

准确

  • Tru-Q® 技术提供了准确的元素自动标识及定量分析结果,可以实时或者重现这些结果。
  • AutoLock 提供了独特的预测和主动漂移校正相结合的方法,该模式在纳米及原子尺度分析时尤为重要。
  • TruMap® and TruLine可实时进行谱峰重叠及其它假象的校准,并以最佳方式对结果进行可视化。

结构化

  • 导航或自定义操作模式
  • AZtecTEM可帮助任何层次用户在整个分析过程中利用步骤注释及可编辑的标准操作步骤进行分析

快速

  • 在探头极限速度下进行数据采集,实时可视最终结果并同时生成报告

TEM中的定量分析

TEM中的定量分析:实时分析及报告生成

点分析

点分析通常是样品分析的第一步。利用AZtec,这一步快速、精确及可重复-只需简单的选择区域进行分析,在很短时间内便可采集到结果。

  • 所有元素可自动标识
  • 在独特的迷你窗口中显示成分
  • 可迅速在感兴趣点为他人进行注释以及迅速将迷你报告单键发给他人

自动元素标识

精确及可靠。自动元素标识可在谱图采集的同时实时标识谱峰。

  • 无需事先知道所存在的元素
  • 如需要,可去除分析不需要的元素
  • 使用Tru-Q技术可在任何计数率下正确标识

自动锁定

自动将视场锁定于相同区域。尤其在STEM下采集高分辨图像及面分布时有用。

  • 可以在由于漂移导致传统方法无法分析的分辨率条件下进行分析
  • 可实时更新漂移校正的程度
  • 根据不同种类漂移,提供独特的预测及主动漂移校正相结合的方法

TEM中的定量分析:提供实时精确的定量分析

Tru-Q®

作为牛津仪器独有的技术,Tru-Q可以提供准确的自动元素标识及定量分析。它使用了如下技术的整合:

  • 为真实无标样分析进行的完整探测器及硬件表征
  • 在任何情况下使用鲁棒的滤波最小二乘法拟合。例如,无需对背景拟合进行调整
  • 改进版比值法- 在TEM定量分析中考虑样品厚度和密度
  • 可使用理论或用户自定义K因子
  • 可选择K, L或M线系进行定量分析
  • 和峰修正- 高计数率计数率下自动脉冲堆积校准,使得在200,000cps计数率条件下定量分析变为现实
  • 剥离不需要的非样品峰(例如来自铜网的Cu元素)

任何人均可获得可信赖的结果

TEM中EDS面分布

在任何EDS系统中,谱图面分布都应该是核心工具—在AZtec中便是

 

智能面分布

智能面分布将自动定量分析转变为二维结果以确定元素及其可视化分布
  • 传统的窗口积分面分布方法
  • 自动生成面分布
  • 可人为定义元素
  • 面分布分辨率达4K*4K
  • 每个像素的信息均自动保存以备后处理

自动图层叠加

单键点击,AutoLayer将包含一系列复杂信息的X-ray面分布图自动转化为单个图像,该图像可帮助观察样品中相及元素的分布
  • 即时及自动解释样品
  • 自动选择颜色以突出单个图像中的重点
  • 揭示样品的复杂性

EELS一体化

超快的EELS一体化可实现精确的同步数据采集。AZtec可在每秒超过1000个谱图的速度下下工作。
  • 与Digital Micrograph™无缝对接
  • 可达到最快的数据采集
  • 在一体化与单独模式之间切换
  • 最高的EDS接收效率

TruMap

TruMap是可实时进行背底扣除及重叠峰剥离的独特面分布功能
  • 自动去除错误信息
  • 纠正谱峰重叠如:
  • Si K线系与W M线系- 对于半导体行业极为重要
  • 矿物分析中的Pb M, Mo L 及S K线系
  • 可适用于离线数据

QuantMap

QuantMap通过对SmartMap结果进行背底扣除,重叠峰剥离,基体效应修正及和峰修正以显示真实的定量信息。QuantMap可在线计算及显示-而无需利用SmartMap数据离线处理
  • 以原子百分比,质量百分比,氧化物百分比等形式显示
  • 将数据输出至电子表格

AutoPhaseMap

AutoPhaseMap使用统计方法建立样品相的面分布以优化相的分组而不是元素聚集或主要成分。该方法提供了自动鉴定的相的定性及定量分析结果
各相分布
  • 各相分布
  • 每个相的谱图、成分及面积比例
  • 寻找各种尺寸的相,包括纳米材料
  • 寻找痕量元素

TEM中的行扫描

AZtec中的LineScan为研究线性变化提供了实时采集及报告

  • 每一像素处的数据均采集及保存
  • 简单及灵活的解释
  • 自动进行多条水平或垂直线扫描
  • 为更好的可视化比较而倾斜图像及线扫描
  • 通过强度归一化更方便地比较主要及次要元素

TruLine

TruLine利用Tru-Q技术从线扫描数据计算真实的元素变化。
  • 自动进行谱峰重叠剥离
  • 通过背底扣除显示元素真实的差异
  • 实时计算及显示

QuantLine

QuantLine通过对线扫描数据的背底扣除、重叠峰剥离,样品基体效应修正及和峰假象修正以获得真实的定量的成分线分布。
  • 无需等待漫长的数据处理过程...实时可见定量线扫描结果
  • 以原子百分含量、质量百分含量,氧化物百分含量等形式显示
  • 将结果导出至电子表格
  • 可在离线数据上工作

数据处理及导出

灵活的离线数据处理及数据导出

重构

面分布、线扫描及谱图均可从之前采集的SmartMap或LineScan数据中提取。这使得用户可以:
  • 从之前采集的SmartMaps结果中重构TruMaps
  • 从之前采集的SmartMaps结果中重构QuantMaps
  • 从之前采集的LineScan结果中重构TruLines及QuantLines
  • 基于面分布或线扫描结果在任意区域或点重构谱图
  • 针对晶界细节分析可从面分布数据中提取不同宽度的线扫描结果

数据转移

在(S)TEM中经常需要将AZtec中采集的数据转移到其它软件中以便做进一步分析。AZtec具有转移数据的能力,如:
  • 以原始文件形式存在的数据立方以便如Lispix或多元分析包等软件做进一步数据评估,如原子列投影
  • 以Excel形式存在的数据以便进一步进行谱图(EMSA格式),面分布及线扫描处理

易用及报告生成

易用:对专业用户功能强大,对任何用户均有可扩展性

多任务处理能力

AZtec具有真正的多任务处理能力,这意味着每一秒采集的数据均可用于数据处理及报告。
  • 实时数据交互
  • 多任务处理意味着以往几分钟的工作只需几秒便可完成
  • 在新项目中采集数据的同时在其它项目中进行数据处理
  • 大幅度提高工作效率的一种新工作方式

多用户环境

  • 配置文件包含重复分析以及不同用户获得相同结果所需的所有设置
  • 步骤注释及标准操作流程(SOP)帮助每一步分析,同时也可根据需要更改为个人操作流程。

操作模式

  • 导航模式:喜欢一步步分析的用户的理想模式。导航条中每一步均有明确目的。用户总是可以看见正在进行的以及将要做的
  • 自定义模式:喜欢自由及灵活分析的用户的理想模式,可自行决定哪些功能是否出现及在哪里出现

报告

无论你需要什么,AZtec将帮助你以所需的模式存在报告中。快速:直接在界面中点击并迅速将报告发送给客户
  • 灵活:专业的应用可将数据以你所需的格式和分辨率导出
  • 结构化:适于各类应用的报告模板综合列表,这使得只需单键便可打印专业报告
  • 建立自己的模板
  • 界面易于操作
  • 为不同背景用户建立模板
  • 建立多页报告模板
  • 为单个或多用户建立模板

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