使用大面积能谱仪意味着:

  • 低束流下有足够的计数率
  • 尽可能高的实现图像的可视性及准确性
  • 无需为能谱分析改变SEM的条件
  • 在相同束流下,极大地提高计数率
  • 缩短采集时间
  • 统计性更高
  • 实现小束斑下的能谱分析
  • 提高能谱检测的空间分辨率
  • 尽可能体现高分辨电镜的优势

晶体面积越大,X-射线计数效率越高
相同条件下,晶体面积越大:

  • 以前需要几分钟完成的工作,现在仅需要几秒钟——面/线分布更易获得
  • 采集时间相同,可极大地提高分析精度及统计性

大面积能谱仪——快速获得所有显微分析结果

 

Low energy spectra easily identified优异的低能端分析性能
X-MaxN 为低能端元素的分析做了巨大的优化——无论何种尺寸,均前所未有的表现出优异的低能端分析性能

  • 所有尺寸的能谱仪均可保证检测到Be,可获得SiLI峰的面分布

超大面积的能谱仪——均具有优异的低能端分析性能

优异的空间分辨率
高空间分辨率,X射线扩展区域更小

  • 大面积能谱仪可以在低加速电压及低束流下采集X-射线
  • 纳米尺度的特征可以更好的被检测到

超大面积的能谱仪——使高级的纳米分析成为可能