X-Max Extreme是超高分辨率FEG-SEM应用的一个突破性的解决方案。这种独特的探测器第一次实现EDS在超低电压(例如1-3kV)及很短的工作距离条件下采集信号来进行元素分析,而用户通常在该条件下进行纳米材料或材料表面的形貌观察。

最新的超高分辨率FEG-SEM为研究更小尺度纳米结构、界面和表面提供了全新的解决方案。然而,在短工作距离、超低电压和束流条件下,其虽然能够在棱镜内探测器获得电子信号,却没有响应的能谱以进行元素表征。最新X-Max Extreme改变了这种状况,它专为在这类参数条件下工作而设计:

  • 独特的几何设计
    • 为在更短的工作距离下工作而设计
    • 为传统侧插能谱探头设计的最大立体角——通常比X-MaxN150 立体角大5倍而传感器到样品距离仅为正常距离的一半
  • 无窗下工作
    • 结合立体角,相比其他大面积探头,对低能X射线探测灵敏性可提高10-30倍
  • 新的探头电子器件极大地提高了极低能量X射线,同时扩展了更高计数下的低能量分析性能
  • AZtecEnergy与最新低电压Tru-Q分析引擎整合为一体,实现低电压下数据处理及分析
    • 为低电压下的谱峰剥离而改进的TruMap

为了实现这种独特的几何设计,X-MaxExtreme非圆形100平方毫米传感器和无窗的设计已经成功地用于X-MaxN 100TLE,以优化TEM中的灵敏度。除了探测器特性之外,小尺寸电子陷阱设计使得探测器可以在7kV电压下工作。