利用X-MaxExtreme,用户可以对样品表面污染或几个原子的厚度进行成分和分布的表征。

  • 将SEM形貌与表面成分表征整合为一体
  • 分析只在极低电压和短工作距离条件下,利用透镜内探头才能观察的表面结构
  • 相比俄歇谱仪与射线光电子能谱,EDS更节约时间和成本

示例:1kV条件下采集的X-ray面分布以对高端电子元件使用棱镜内探头的二次电子图像进行表征。