3D EDS Analysis

 

 

 

 

 

 

 

牛津仪器开发出能谱的3D分析系统,并与FIB切片同步,即可对每层进行能谱分析,并重构出三维元素分布图。

综述

  • FIB切片之后,自动对每一片层进行EDS面扫描
  • 采用独一无二的X-MaxN SDD快速采集数据
  • 对每一层均做完整的SmartMap数据采集
  • 数据准确,严格的样品漂移校正功能

3D EDS特点

多维空间采集能谱数据
 

I在FIB-SEM 切片过程中,INCASmartMap3D提供最有力的多维元素数据采集及分析工具

  • 结合3D空间信息及3D能谱信息
    • 切片过程是破坏性的,但是通过SmartMap3D采集数据,也可以将所有X射线能谱信息完整的保存下来。
  • 使用强大的INCAEnergy采集数据:
  • 所有切片获得所有元素信息
  • 对样品的任何区域任何切片皆可提取做详细分析
  • 对单片以Cameo+功能查看所有成分信息及相的信息
  • 使用QuantMap工具,消除重叠峰影响并获得定量面分布
  • 以标准的格式对所有切片的数据以可视化3D形式输出

3D EDS分析举例

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