IonFab ® 500Plus -高精度沉积离子束设备

专为超优质光学薄膜设计的Ionfab500Plus于1983年推出,是世界上第一个用于制造环形激光陀螺仪的商业离子束溅射沉积系统。 在最近几年的客户的使用已经表明商用系统中的Ionfab500Plus可使镜面误差<20ppm。

该Ionfab500Plus已为满足客户的大产量需求而做了改进。 使用了4x10"的行星式底盘,可使用14"靶材。另一个满足客户高产量需求的优点是可使用3个靶,这意味着可沉积不同的材料而不用破坏真空。

我们的工作与我们的客户密切结合,以开发新的和根据客户应用需要而定制的工艺;请与我们联系以了解详细信息。


 

Ionfab500Plus Image Gallery

Ionfab500Plus External View

Ionfab500Plus External View

Ionfab500Plus Internal View

Ionfab500Plus Internal View

Ionfab500Plus with open door

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Ionfab500Plus with operator

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设备支持

Spares

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原装的牛津仪器备件

工艺培训

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将在我们的专门培训基地教授工艺培训课程

预防性维护上门服务

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为了使您的系统保持达到最高标准,必须执行年度维护。

系统用户维护培训

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设计用于提高系统维护技术,确保您最有效地使用您的牛津仪器系统。

修理

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我们的修理服务对电气和电子模件特别有益。

更换

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我们提供更换服务,可换取高价值系统零件。