典型的应用和材料:

  • 红外探测器
  • CdHgTe (CMT )刻蚀
  • 氧化钒沉积和刻蚀
  • 金属接触和跟踪刻蚀
  • 铜,镍,铝...
  • 贵金属:金,铂,钯...
  • 衍射光栅
  • SiO2 ‘blazed' '刻蚀
  • 自旋电子元件和的MRAM
  • 激光棒的AR和HR涂层
  • 电信滤波器
  • III - V族光子刻蚀
  • 薄膜磁性硬盘头( TFMH )