电感耦合等离子体源

  •  ICP 65适用于最大为2英寸的晶圆
  •  ICP 180适用于最大为100mm的晶圆
  •  ICP 380适用于最大为200mm的晶圆
  •  更小尺寸的晶圆均可以适用以上设备进行刻蚀