铂金(Pt)离子束刻蚀 (IBE)

工艺规范

  • 使用Ionfab300Plus (大反应腔) 进行铂金离子束刻蚀
  • 处理气体:Ar
  • 处理的晶圆直径最大为200mm
  • 详细请见英文网站