技术:

• 平行板反应室
• 喷淋头进气口
• 基于硅烷的工艺

结果:

• 速率:大于50纳米/分钟
• 均匀性:在200mm直径范围内公差+ 4 %
• 可重复性:公差+/- 2 %
• 应力:小于150 兆帕
• 折射率:大约2.6(2.4-2.7)
• 良好的耐湿法腐蚀性