氧化锌原子层沉积

  • 源:二乙基锌
  • 无金属源:水
  • 温控蒸汽提取
  • 快速脉冲原子层沉积阀控制剂量
  • 沉积温度50-200 oC
  • 周期时间4秒

-每周期厚度 1.9 埃(饱和剂量)

  • 电阻率5 x10-4 欧姆•厘米
  • 150oC下的碳杂质小于2%
  • 均匀性:100mm直径范围内公差小于± 1%
  • 重复性:± 1%
  • 折射率:1.90-1.95
  • Zn:O = 1:1