远程等离子体原子层沉积

远程等离子体确保衬底基板和等离子体之间没有接触

远程等离子体裂解分子,以便活性粒子用于生长过程。

这些活性粒子通常能够对衬底进行非常有效的等离子体预清洗,从而获得更清洁的薄膜和更低的沉积温度。