感应耦合等离子体化学气相沉积 SiN
  • 同一批次的均匀性公差在± 2 - 4 %
  • 沉积速率10-15 纳米/分钟,最大100纳米/分钟
  • 折射率典型值2.0,但可在1.8至2.5范围内调控