ALD可以被应用于许多途径:

  • 高介电氧化层
  • 储能电容器电介质
  • 在聚合物和OLED的无针孔钝化层
  • 晶体硅太阳能电池钝化
  • 高深宽比扩散壁垒对铜互连
  • 黏附层
  • 有机半导体
  • 高保形涂层微流控和MEMS应用程序
  • 其他纳米技术和纳电子应用程序
  • 纳米多孔结构涂层
  • 燃料电池,如单一金属涂层催化剂层
  • 生物微机电