牛津仪器的刻蚀、沉积和生长系统可以为材料的微米、纳米级工程提供工艺方法,可以应用于半导体、光电子、MEMS和微流体、高质量光学涂层及其他多种微纳技术领域。

产品范围包括单机研发系统、批处理设备直到具备大规模生产能力的片盒到片盒设备。