Spot Profile Analysis(SPA-LEED)由汉诺威大学的Henzler教授及其研究组 所发明。

SPA-LEED不仅可以实现普通LEED的功能,而且可以通过对每一个LEED斑点形状、宽度的准确、定量分析,获得更详细的表面结构信息。 SPA-LEED可以用于分析单晶表面缺陷、小面、台阶、水平方向或垂直方向粗糙度、以及相变等领域。

  • 极高的k空间分辨率,95.4eV时传输宽度大于1000Å
  • 极宽的束流范围,500 pA ~ 10μA,使用于多种样品
  • 角度分辨率好于0.1°
  • 偏转扫描±30°,可视角度±11°

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