SE 5 离子源是一款设计紧凑、使用灵活的冷阴极离子源,最大束流超过45微安,能量范围从300eV直到5 keV。对于低能离子具有极大的束流,使ISE 5适于敏感材料的轰击清洁。由于没有需要加热的灯丝,因此ISE 5的寿命被大大地延长。

  • 束斑尺寸在10 ~ 15 mm之间
  • 离子能量范围0.3 ~ 5 keV,连续可调
  • 最大束流> 45μA,0.5 keV时大于20μ

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