现有最大面积和最高抽速

I在原位低温水泵配置,低温面板或泵的水伞位于内部的真空室本身的低温冷头和驱动电机安装在一个真空室端口。此配置的主要优点是低温面板/伞可自定义设计,以适应室的内部几何结构。低温面板通过符合的腔室的表面面积,实现最大的可用表面面积和整体抽速。这种配置对其它抽速工艺气体没有影响,如果泵安装在它自己的端口。

亮点

  • 最大可用的表面积和泵的最高转速
  • 无显著影响现有设备的操作
  • 现有真空室成本效益的升级
  • 显著降低真空泵停机时间
  • 提高真空压力和生产力
  • 全球销售和24×7支持

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