专为集成现有的抽水机制

当真空室已没有多余的端口独立安装低温水泵时,使用In-line / appendage配置优势的低温水泵,没有显著改变现有的腔室设备的设计和安装。

In-line配置

在此配置中,该低温水泵在现有的涡轮分子泵(TMP)或扩散泵(DP)和安装口之间插入。圆筒形低温面板或泵水伞内侧位于连接TMP或DP到真空室端口的入口的泵的容器中,并且不伸出到腔室本身。

附件配置

对于有额外的可用端口的真空腔室额外可用接口,该配置将允许添加大量的水蒸汽抽气能力不干扰现有的真空设备的设置和性能。此配置不影响现有的涡轮分子泵(TMP)或扩散泵(DP)的抽速。

亮点

  • 与现有的抽水机制无缝集成
  • 无显著影响现有设备的操作
  • 现有的真空室成本效益的升级
  • 显著降低真空泵停机时间
  • 提高真空压力和生产力
  • 全球销售和24×7支持

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