超薄设计低温泵技术

经过验证的紧凑型低温泵技术,Cryo-Plex 8LP设计专门用于空间受限的应用。两级冷头设计(吉福德/麦克马洪原理)高抽速状态捕获水蒸汽和气体,保证可靠的、无油实现高真空和超高真空。Cryo-Plex 8LP低温泵可选具有增强的阵列来提高氩气和氢气的吸附和/或可选的三相电动机以减少振动 – 特性尤其有利于半导体工具应用。

主要特点与优势

工业标准设计

Cryo-Plex 8LP低温泵泵体/法兰90度方向从泵的中心线安装,比我们的标准的Cryo-Plex8低温泵的设计高度缩短尺寸超过66%。Cryo-Plex 8LP的进气口法兰配置符合行业标准的ANSI,ISO和的Conflat®和完整的特高压规格,可无缝集成到现有的工艺并且方便与其他OEM冷泵交换。

灵活的配置

Cryo-Plex 8LP低温泵可以配置在受限的空间,以支持广泛的研究和生产应用需求。这种低温泵的设计具有很大的灵活性,为行业标准的或定制设计,可安全运行在任何安装位置。硅二极管温度传感器测量温度在第二阶段(双二极管也可用)。

亮点

  • 紧凑型(LP)低温泵设计用于空间受限的应用
  • 可靠的高速无油超高真空低温泵
  • 二十年的历史,成熟的技术和专业的设计
  • 行业标准的兼容性,可无缝集成到现有设施
  • 优化的监视和控制(可选)
  • 全球销售和24×7支持
  • USA美国制造

Cryo-Plex 8LP Specifications

Cryo-Plex 8LP Specifications
Gas Pumping Speeds (liters/second)
Air 1,500
Water 4,000
Hydrogen 2,200
Argon 1,200
Gas Capacities – Standard liters
Argon 1,000 torr-liters
Hydrogen @ 5X10-6 12 torr-liters
Throughput
Argon 700 scc / minute
Crossover 150 torr-liters
Physical Specifications
Weight 42 lb. (19.1 kg)
Overall Height 7.03 inches (17.9 cm)
Overall Length / Standard 22.6 inches (57.4 cm) / ANSI
22.1 inches (56.1 cm) / CF
21.8 inches (55.4 cm) / ISO
Depth 7.1 inches (18.0 cm)
Maximum Flange Diameter 11.0 inches (27.0 cm)
Inlet Flange Size / Standard 6 inch / ANSI
10 inch / CF
NW 200 / ISO
Cooldown Time (Room temperature to 20 K)
60 Hz 90 minutes

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