成熟的低温泵设计 - 高容量和高性能

Cryo-Plex16低温泵是一种高容量低温泵,具有成熟的双级冷头设计(吉福德/麦克马洪原理)高抽速捕捉水蒸汽和气体,实现无油,高和超高真空。Cryo-Plex16低温泵是专为大型真空应用,可靠性,性能和容量是非常重要的。

主要特点与优势

单台低温泵解决方案

单独一台Cryo-Plex16低温泵即可满足容量和性能要求的许多大腔室应用。单台低温泵解决方案简化了安装和维护,提高工作效率和降低总成本,使Cryo-Plex16成为低温泵箱涂层系统,空间模拟室和电子束镀膜系统的最佳解决方案。

工业标准设计

Cryo-Plex16个进口法兰配置符合行业标准的国际标准化组织(ISO)和CVC规格,可无缝集成到现有的工艺设施,方便与其他OEM冷泵交换。

灵活的配置

完备的生产线,低温泵配件支持灵活的配置,以确保可靠性和最佳性能。Cryo-Plex16低温泵基于行业标准或定制设计,可以安全地安装在任何方向。硅二极管或氢蒸汽球(HVB)传感器在第二阶段测量温度,以帮助控制再生过程中(双二极管也可用)。

亮点

  • 高容量,高性能的设计
  • 可靠的高速无油的高和超高真空
  • 二十年的历史,成熟的技术和专业的设计
  • 行业标准的兼容性,可无缝集成到现有设施
  • 优化的监视和控制(可选)
  • 全球销售和24×7支持
  • 美国制造

Cryo-Plex 16 技术参数

Cryo-Plex 16 技术参数
Gas Pumping Speeds (liters/second)
Air 5,000
Water 16,000
Hydrogen 5,000
Argon 4,200
Gas Capacities – Standard liters
Argon 2,500 torr-liters
Hydrogen @ 5X10-6 15 torr-liters
Throughput
Argon 500 scc / minute
Crossover 300 torr-liters
Physical Specifications
Weight 160 lb. (72.7 kg)
Overall Height / Flange Standard 23.2 inches (58.9 cm) /CVC
23.1 inches (58.7 cm) / ISO
Maximum Flange Diameter / Standard 18.0 inches (45.7 cm) / CVC
17.7 inches (44.9 cm) / ISO
Inlet Flange Size / Standard 16 inch /CVC
NW 400 / ISO
Cooldown Time (Room temperature to 20 K)
60 Hz 150 minutes

 

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