SEMICON China 2018 拉开帷幕 牛津仪器邀您参加
2018年3月14日

一年一度的半导体盛会 SEMICON China 2018 今天在上海新国际博览中心盛大开幕。

牛津仪器等离子技术与纳米分析再次强强联手,亮相这一国际半导体行业盛会。

时间:2017年3月14–16

地点:上海新国际博览中心

牛津仪器展位号:N2馆 2271

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诚邀您莅临展馆现场与牛津仪器的专家们一同探讨交流半导体领域的最新应用。

 

芯片制造技术涵盖等离子刻蚀沉积、原子层刻蚀沉积、离子束刻蚀沉积、深硅刻蚀以及二维材料生长。提供传统硅器件以及下一代化合物半导体整套研发和量产解决方案,涵盖微机械、功率、射频、光电子、光通讯等应用领域。灵活可配置的处理设备及尖端工艺,应用于精确可控制,高重复性的纳米结构工程。4.jpg

 

纳米分析技术涵盖一系列半导体检测分析的综合工具,包括EDS、 EBSD、WDS、OP等,可以配备于扫描电子显微镜(SEM)、聚焦离子束(FIB)、透射电子显微镜(TEM)上,极大扩展了各种电镜的分析性能。其中超级能谱Extreme可以在SEM上实现10nm尺度分析,是表征各种芯片元素分布、测试电路板缺陷等理想工具。OP纳米操作机械手,是理想的透射样品制备辅助工具,同时具有E3功能,更可测试半导体中金属的缺陷等。5.jpg

 

牛津仪器将继续以支持中国科学研究发展为己任,为中国广大科研人员提供高性能、高可靠性的产品;同时我们遍布全国的服务团队也可以为用户提供系列服务套餐,包括配件和耗材、延保合同、产品培训、服务维修和技术支持等。

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