南京邮电大学订购多套牛津仪器等离子系统
2016年7月15日

全球领先的等离子刻蚀和沉积系统制造商牛津仪器等离子部,近期赢得了南京邮电大学多套用于硅和三五族刻蚀的等离子刻蚀系统。这些可高度灵活配置的PlasmaPro 100设备可进行广泛的工艺处理,非常适用于南京邮电大学所从事的纳米研究。PlasmaPro 100的工艺模块位于200mm的操作台上,可处理单晶圆和批量处理多晶圆。工艺模块具备了极佳的一致性,和大批量处理能力,可处理多种应用。
 
“作为国内首屈一指的研究中心,经过严苛的招标流程,我们最终决定购买牛津仪器全球领先的设备,这对于我们研究的成功起到了至关重要的作用。” 南京邮电大学黄晓明教授这样评价道。“其工艺模块具备极佳的一致性和大批量处理能力,同时可提供全球的服务支持,并且性价比高这些因素让我们作出了购买的决定。”
 
“收到来自南京邮电大学多套设备的订单,对于我们来说是非常好的消息,”牛津仪器等离子部市场战略和业务拓展总监Frazer Anderson这样评价道,“我们始终致力于为科研客户提供全球领先的灵活工艺设备和创新技术解决方案。我们的PlasmaPro系列刻蚀设备成功安装于南京邮电大学净化室,将助其在三五族和硅刻蚀领域进行广泛的科学研究。”
 
 
牛津仪器将继续以支持中国科学研究发展为己任,为中国广大科研人员提供高性能、高可靠性的等离子体设备、原子层沉积设备等;同时牛津仪器的服务团队也可以为用户提供系列服务套餐,包括配件和耗材、延保合同、产品培训、服务维修和技术支持等。
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