牛津仪器亮相2016微机电系统国际会议
2016年1月29日

第29届IEEE微机电系统国际会议(MEMS 2016)于2016年1月24-28在上海国际会议中心举办。牛津仪器作为参展方携微机电系统全面解决方案亮相本次会议。IEEE MEMS年会,即微机电系统会议,是电气和电子工程师协会(IEEE)年度重要会议。本次会议上,来自世界各地大学、研究院所及相关产业的MEMS领域的专家、学者等相聚上海,在这样一个高水平、高层次的国际学术交流平台上分享研究成果、先进的设备以及MEMS创业心路,交流不同文化。
 
截止到2010年,MEMS领域专家学者已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品,其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出的新型传感器。与传统的传感器相比,它体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化。同时,在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。结合硅基微电子学和微机械加工科技,MEMS技术和基于微系统技术的设备正改善着我们的生活和居住方式。数以百万计的MEMS器件如今已被应用于我们日用品中。采用深硅刻蚀,低温刻蚀,Bosch和原子层沉积等技术,牛津仪器研发了一系列灵活易用品质上乘的系统设备,并推进MEMS技术的革新。
 
牛津仪器Plasma Technology作为全球领先的批量和单晶圆等离子设备供应商,在生产和研究市场具有30多年经验。我们拥有大量生产设备用户,并可提供多种微机电应用的等离子工艺解决方案。对于微机电、NEMS、微纳米制造所需的微纳米工程材料,牛津仪器Plasma Technology刻蚀、沉积和生长设备可以提供多种工艺解决方案。其应用包括在微纳米技术方面的物理传感器、制动器、微流体、光子学和其他新兴应用。
牛津仪器将继续以支持中国科学研究发展为己任,为中国广大科研人员提供高性能、高可靠性的等离子体设备、原子层沉积设备等;同时牛津仪器的服务团队也可以为用户提供系列服务套餐,包括配件和耗材、延保合同、产品培训、服务维修和技术支持等。
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