牛津仪器Asylum Research原子力显微镜助力薄膜沉积和刻蚀工艺发展  
2015年9月2日

在材料科技中,薄膜无处不在,其应用范围非常广泛:上至独特的新生代材料(如铁电数据存储),下至日常用品(如食品包装)。由于薄膜固有尺寸(厚度、粒度、晶块尺寸等)的限定及其对性能高度依赖的特点,因此需要具有纳米级分辨率的设备对其进行表征测量。原子力显微镜(AFM)长期以来被用于测量薄膜的粗糙度和均匀度,如今这仍然是原子力显微镜最常用的测量用途之一。随着材料变得越来越复杂,原子力显微镜的运用也越来越多注重功能性,包括机械特性、电子特性、电子机械特性和磁特性等。牛津仪器Asylum Research发布的题为《原子力显微镜薄膜表征:高分辨率形貌和功能特性》的应用手册描述了Asylum Research原子力显微镜在该领域的多种应用方式,并包含若干实例,阐述了如何采用原子力显微镜直接获取薄膜材料表征,从而帮助薄膜材料的研究和开发。
 
牛津仪器Asylum Research市场营销总监Ben Ohler博士说:“过去二十年来,原子力显微镜在薄膜测量中的应用已经非常普遍,许多人认为这项功能对于任何以往的原子力显微镜来说都是其能力范围内的基本操作。但这种思维方式忽略了一个事实,许多薄膜的尺寸正在不断缩小,功能的复杂性却在不断增加。现在薄膜的粗糙度已经到了第一代原子力显微镜的噪声范围之内。此外薄膜的性能不仅取决于于其表面形貌,还与纳米电学特性和纳米力学特性密切相关。Asylum Research原子力显微镜具有更高性能的高级成像模式,能提供这些材料更全面的信息。如今,与你通常在薄膜沉积和刻蚀设施中所见到的原子力显微镜相比,我们的原子力显微镜具有显著的易用性优势,能够大大提高工作效率。”
 
获取更多信息,下载应用手册,请访问以下链接: www.oxford-instruments.com/thin-films
 
下图:结构有序的热解石墨基材上的非平面Phthalocyanine膜结晶微区3D形貌图。Phthalocyanine作为有机半导体拥有潜在用途,25微米扫描。华威大学Luke Rochford供图。
牛津仪器将继续以支持中国科学研究发展为己任,为中国广大科研人员提供高性能、高可靠性的原子力显微镜设备等;同时牛津仪器的服务团队也可以为用户提供系列服务套餐,包括配件和耗材、延保合同、产品培训、服务维修和技术支持等。
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