牛津仪器发布最新蓝宝石夹持工艺,有望生产出更亮,价格更优惠的LED产品
2015年3月31日

牛津仪器LED产品经理 Mark Dineen 提出了蓝宝石夹持新工艺、新技术,有望能够生产出更亮、价格更优惠的LED,该项技术已发表于化合物半导体期刊。

文章中指出,LED的设备制造商们正在努力地制造更便宜,使LED出光效率更高的芯片。如果成功,LED销量将大大增加,同时LED的应用也将变得更加广泛。提升LED出光效率的最有效方法是将器件的外延衬底由平面蓝宝石改为蚀刻过的图案化表面,但其工艺难点在于将材料蚀刻成有用的图案并不容易,同时利用传统的蚀刻方法,加工成本也将大大提高。为了解决此问题,牛津仪器等离子技术公司,开发了一种技术来解决这些问题:静电吸附的蓝宝石晶圆。这项专利已在审核中尚不能公开,此技术实现即使在冷却过程中,仍能吸附150mm蓝宝石,持续夹持三十分钟以上。为了削减制造成本,LED芯片制造商们已尽可能采用大量快速的晶圆生产LED。有了牛津仪器此项静电夹持工艺,收益将会显著增加,因为图案的侧面形状可以保持在晶圆的边缘2mm以内。

此项创新型技术将有助于降低生产图案化蓝宝石的单位成本。更重要的是,我们的设备也可以优化蚀刻图案的形状,从而提高芯片外延的质量,提升发光效率,这将给市场带来更便宜,更亮的LED过程中发挥关键作用。

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