牛津仪器携半导体制造设备亮相Semicon China 2015
2015年3月31日

2015年3月17-19日Semicon China在上海新国际博览中心举行,借此机会,牛津仪器携等离子、离子束和原子层刻蚀与沉积系统及纳米分析表征设备亮相此次展会,为半导体制造行业提供了完整的解决方案。

在Semicon China 2015展会现场,前来参观的客户纷纷表示对牛津仪器展示的等离子刻蚀和沉积系统,原子层沉积系统,离子束刻蚀和沉积系统,硅深刻蚀设备,能谱仪和EBSD等产品感兴趣,并与现场的技术专家进行了深度交流。牛津仪器为半导体,光电子,高亮度发光二极管(HBLED),微电机系统(MEMS),高质量光学镀膜以及纳米材料等应用行业提供了完整的解决方案。

牛津仪器将继续以支持中国半导体加工与制造产业发展为己任,为中国广大企业和科研人员提供高性能、高可靠性的等离子体刻蚀和沉积设备。

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