全球多个研究机构已购买牛津仪器等离子设备用于石墨烯和二维材料的研究
2015年6月4日

随着对石墨烯和二维材料研究的不断深入,全球多个研究机构已陆续购买多台牛津仪器领先的纳米生长设备Nanofab来辅助研究,包括等离子体化学气相沉积(CVD)、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和感应耦合等离子体-化学气相沉积(ICP-CVD)等。欧洲及美国的几所著名的研究机构,比如美国海军研究实验室、伦敦大学学院等最近都有购买多台牛津仪器等离子体设备。等离子化学气相沉积已成为纳米材料制备的重要工艺技术,尤其是石墨烯、碳纳米管及其他一维或二维纳米材料。Nanofab作为此研究领域中的理想设备,它具有多个特点有助于高性能材料生长,比如:高温加热器可处理直径高达200mm的晶圆,喷头技术,晶圆传送自动锁,以及灵活的固体与液体前驱体传送选择。

伦敦大学学院的Zheng-Xiao Guo教授评价道:“我们最近购买了一台牛津仪器的Nanofab,之所以选择它,是因为它优异的处理能力、工艺控制能力以及设备修改和升级的灵活性等性能。我们更满意的一点是,牛津仪器将持续为我们提供售后服务,不仅仅包括运行系统,还会提供技术支持来帮助我们更好地实现应用。”

牛津仪器等离子体部门销售与市场总监David Haynes博士介绍说:“由于未来几年内,石墨烯有望走进百姓生活,因此石墨烯的研发在全球范围内越来越受重视。几个国家级的研究项目及工业界多个企业都活跃在石墨烯的生产及应用上,美国海军研究实验室、伦敦大学学院能够选择牛津仪器的Nanofab系统,我们感到很荣幸。

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