中国LED生产企业购买牛津仪器多台等离子系统PlasmaPro®用于扩大生产
2015年6月18日

近日,国内LED生产企业映瑞光电科技(上海)有限公司购买了牛津仪器多台最新的等离子体系统PlasmaPro800,用于高亮度LED的生产。英瑞光电企业的产品方向为高亮度LED电视背光源和LED照明,主要产品和服务范围涵盖了从蓝宝石衬底材料及图形化、外延片、芯片到封装测试的各个环节。
 
牛津仪器的大批量蚀刻系统PlasmaPro 800 Stratum 专为HBLED材料苛刻的化学要求而设计,能在最大直径为300mm的晶圆上获得均匀、快速的蚀刻速率,并能够大批量生产高质量、均匀的介电薄膜,非常利于LED的生产。PlasmaPro具有小封装、出色的衬底温度控制等优势,可提供出色及精准的工艺控制能力,为LED行业高性价比产品。
   
 
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映瑞光电企业V.P. Xu.Chunchao先生介绍:“作为国内领先的LED设计与生产企业,高性价比及的工艺处理设备对映瑞光电非常重要。我们之所以选择牛津仪器的等离子系统,正是因为牛津仪器能够提供高性价比设备,并持续地为用户提供先进的技术支持与服务。”
 
牛津仪器等离子体技术销售、服务和营销总监 David Haynes博士说:“牛津仪器将持续研发领先的LED行业专用等离子体沉积设备,在中国LED生产企业安装多台等离子系统之后,我们非常高兴又收到英瑞光电的一个订单。牛津仪器将持续为中国用户提供全面而专业的服务。” 
 
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