牛津仪器期待与您在MEMS上海会场相见
2015年12月25日

现场您可了解更多有关MEMS应用以及系统信息。

时间:2016年1月24日-28日
地点:上海国际会议中心(滨江大道2727号)
展位号:27
 
结合硅基微电子学和微机械加工科技,MEMS技术和基于微系统技术的设备正改善着我们的生活和居住方式。数以百万计的MEMS器件如今已被应用于我们日用品中。
采用深硅刻蚀,低温刻蚀,Bosch和原子层沉积等技术,牛津仪器研发了一系列灵活易用品质上乘的系统设备,并推进MEMS技术的革新。
 
牛津仪器将继续以支持中国科学研究发展为己任,为中国广大科研人员提供高性能、高可靠性的等离子体设备、原子层沉积设备等;同时牛津仪器的服务团队也可以为用户提供系列服务套餐,包括配件和耗材、延保合同、产品培训、服务维修和技术支持等。
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