牛津仪器举办Extreme无窗能谱应用技术研讨会
2015年12月24日

中科院上海硅酸盐研究所目前已在场发射电镜上安装了一台超级能谱Extreme展示样机。日前,牛津仪器在上海硅酸盐研究所举办了Extreme的应用研讨会,为大家介绍了Extreme的应用结果及使用体会,同时还现场参观了Extreme的演示。

在最新的高分辨场发射扫描电镜中对于精细纳米结构及表层材料的成像表征有三个关键因素:
1) 低加速电压 (1-3 kV)
2) 小束流 (pA)
3) 短工作距离
在这些条件下可以获得最小尺寸束斑及高分辨率图像(<5nm)。然而,所产生的极低X射线信号也意味着利用传统SDD探头无法进行能谱分析。
为解决此问题,牛津仪器专门设计出全新一代能谱探测器X-Max Extreme超级能谱仪。通过采用巧妙设计,使其在极低能量入射下,尽可能高地提升X射线计数接收能力,在采集电子图像的同时获得极高空间分辨率的元素面分布。
* FEG-SEM中优于10nm的元素表征
* 材料表面表征灵敏度高
* 低至1千伏材料表征
* 极致的轻元素灵敏度
* 可探测到Li元素
牛津仪器将继续以支持中国科学研究发展为己任,为中国广大科研人员提供高性能、高可靠性的纳米分析设备等;同时牛津仪器的服务团队也可以为用户提供系列服务套餐,包括配件和耗材、延保合同、产品培训、服务维修和技术支持等。
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