清华大学购置多套应用在量子计算的等离子体设备
2014年3月13日

最近,北京的清华大学交叉信息学院从高科技供应商牛津仪器购置了等离子体设备,并将用于量子计算领域的研究。

交叉信息学院目前正在建设一个新的超净室,并从全球领先的晶圆加工等离子体刻蚀和沉积系统供应商牛津仪器购置了一系列设备,为这项量子计算的研究提供了三套系统:PlasmaPro100 ICP 刻蚀系统,带TEOS的PlasmaPro100 PECVD 沉积系统,和FlexAL ALD 原子层沉积系统。这三套系统具备高性能、高灵活性和操作便捷性,是这类研究的理想工具。

清华大学的副研究员宋博士说:“在对系统功能和成本进行比较,并经过严格的投标过程之后,我们选择了牛津仪器。我们之所以选择购买牛津仪器的等离子体刻蚀和沉积系统,是因为这个全球化的供应商能够提供广泛的工艺和应用、一整套完整的系统、以及为客户提供完美的服务和支持,我们希望能够从我们的前沿研究中获得令人满意的研究成果。

宋博士接着说:“交叉信息学院目标是成为交叉信息学科领域中的世界领先者,同时为中国的计算机理论学科和量子信息学科的研究和教育提供相关便利条件。我们致力于打造并运营一个世界级的量子技术纳米加工平台,为清华大学的研究者和合作者创造利益。

牛津仪器的等离子体技术部门的销售和市场总监David Haynes博士说:“我们的系统一直以来都应用在基础研究和新技术、先进工艺开发中,而这次我们的技术将应用于交叉信息学院的量子计算,这对我们牛津仪器来说是一件非常令人激动的事情。

如需了解牛津仪器等离子部更多产品,请点击:http://www.oxford-instruments.cn/plasma

清华大学购置多套应用在量子计算的等离子体设备