中国科学技术大学再次购买牛津仪器等离子刻蚀系统用于量子信息处理研究
2014年8月12日

中国科学技术大学微纳研究与制作中心在已有的牛津仪器刻蚀与沉积系统基础上,再次购买了一台牛津仪器PlasmaPro 100 等离子体刻蚀系统。这套系统安装在中国科学技术大学新建的超净实验室中,并将用于重要领域量子信息处理的基础研究中。

过去几年里,中国科学技术大学已经安装了多套牛津仪器等离子体系统,包括PlasmaPro 100 ICP380,PlasmaPro NGP 80 RIE 及PlasmaPro 100 PECVD 沉积系统。

中国科学技术大学的朱教授说:“最新的牛津仪器等离子体刻蚀系统将大大提高我们目前量子信息处理课题的研究进展。之所以选择牛津仪器等离子体刻蚀系统,是因为我们发现不仅这套设备具有广泛的处理能力及高灵活性,牛津仪器还提供一系列的服务与支持。这些设备使得我们的研究极限进入到微纳米的尺度。”

朱教授继续说道:“中国科学技术大学在纳米科学工程领域有很强的研究背景,我们新建的纳米制造中心将致力于微纳米尺度上相合作、交叉学科的基础研究。”

牛津仪器等离子体的销售与市场总监David Haynes 先生说:“我们非常高兴又收到中国科学技术大学的一个订单,同样作为制造系统,我们的等离子体系统采用了很多全新、先进的技术,并已用于全球的基础研究与开发。中国科学技术大学购买牛津仪器的等离子体系统用于量子计算的前沿研究的消息,对我们来说是非常振奋的消息。”

量子信息处理将是9月24-25日2014纳米技术与应用研讨会上的重要议题,此次研讨会由牛津仪器主办,报名者可免费参加此次会议。

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