中国科学技术大学纳米技术中心安装数台等离子设备
2013年11月11日

牛津仪器目前正在中国科技大学纳米技术中心安装数台PlasmaPro等离子刻蚀和沉积设备,以促进其在微纳米技术领域的基础研究。中国科学技术大学纳米制造中心位于安徽合肥,致力于微纳米领域的跨学科交流和基础研究。

中国科学技术大学的朱学林博士谈道,“在纳米科学和工程领域,中国科学技术大学拥有雄厚的背景。所属的纳米技术中心采购的牛津仪器设备包括:一台PlasmaPro100 ICP380硅蚀刻设备,一台PlasmaPro80 RIE先进蚀刻设备和一台PlasmaPro100 PECVD用于二氧化硅和氮化硅。 这些设备可以批量在晶片上形成形状各异的纳米结构,该技术在纳米科技的领域(包括量子物理、量子信息、纳米材料和纳米化学)至关重要。我们之所以选择牛津仪器,是因为他们能提供多项尖端技术、杰出的工艺灵活性和性能,并具备有效可靠的客户支持,完全能满足中国科学技术大学的需求。”

“作为全球领先的等离子刻蚀和沉积设备领域供应商,牛津仪器的主要优势是可以提供广泛的研发工艺和系统解决方案,从而成为全球各研究机构的首选。” 牛津仪器等离子部销售与市场总监David Haynes博士谈道,“中国科技大学的研究工作者正在突破纳米科学、纳米工程和纳米技术的局限性,积极地创造新型的纳米材料、结构和芯片,非常荣幸我们的设备能促进这项杰出的研究工作。”

如需了解牛津仪器等离子部更多产品,请点击:http://www.oxford-instruments.cn/plasma

中国科学技术大学纳米技术中心安装数台等离子设备